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       半導體設備中的旋轉接頭包括接頭座、設置在接頭座上的定子、和定子套裝連接的轉子、和轉子套裝連接的密封圈、和轉子固定連接的陶瓷基盤以及陶瓷吸盤，旋轉接頭轉子和定子之間設置有用以使轉子平穩運行的軸承，用鎖母固定從而保證兩者之間的相對運動和在旋轉過程中水、真空、氣的輸送，接頭座上設置有旋轉接頭，上面裝上快換接頭，它是通道的入口，密封圈具有優良的密封性能，可以保證在旋轉接頭旋轉過程中，真空、 水、氣體幾種介質不發生泄漏。